微觀裝置的制造及其處理im电竞app
  • 傳感器封裝結構、傳感器封裝結構制作方法和電子終端與流程
    傳感器封裝結構、傳感器封裝結構制作方法和電子終端.本發明涉及電子,特別涉及一種傳感器封裝結構、傳感器封裝結構制作方法和電子終端。.現有im电竞app中,傳感器的應用領域廣泛,例如mems(微電子機械,micro‑electro‑mechanicalsystem)麥克風、me...
  • 一種大尺度超滑器件及其加工制作方法與流程
    .本發明涉及結構超滑的,具體涉及一種大尺度超滑器件及其加工方法。.長期以來,摩擦和磨損問題,不但與制造業密切相關,還與能源、環境和健康直接相關。據統計,全世界約三分之一的能源在摩擦過程中被消耗掉,約%的機器零部件失效都是由磨損造成的。結構超滑是解決摩擦磨損問題的理想方案之一,結構超...
  • 一種自帶聚光結構的微機電紅外光源及其制備方法與流程
    .本發明屬于微機電紅外光源領域,涉及一種自帶聚光結構的微機電紅外光源及其制備方法。.微機電系統紅外光源是基于黑體輻射im电竞app的一種低成本、高輻射率的紅外光源發射芯片,同時還具備低功耗、小尺寸和高調制速率等優點,可作為核心器件廣泛應用于高端紅外氣體傳感器領域。.在紅外氣體傳感器應用中,其氣體探測...
  • 連續離子液相制備納米薄膜的自動沉積方法及自動化設備與流程
    .本發明涉及納米材料制備,尤其涉及連續離子液相制備納米薄膜的自動沉積方法及自動化設備。.近年來,隨著化石燃料的大量消耗,隨之而來的環境問題和能源問題越來越嚴峻,尋找清潔、可再生的能源迫在眉睫。氫能,作為二次能源,具有清潔、高效、安全、可貯存、可運輸等諸多優點,已普遍被人們認為是一種...
  • 人工突觸器件和人工突觸器件的制備方法與流程
    .本發明實施例涉及仿生人工突觸器件以及類生物感知系統,尤其涉及一種人工突觸器件和人工突觸器件的制備方法。.人工智能im电竞app的發展為人機交互、感知系統及機器人假肢的控制等帶來了革命性變化,同時對復雜數據的處理和人機交互界面提出了新的要求。不同于目前基于軟件系統和馮·諾依曼構架實現的神經網...
  • 氣密性射頻MEMS器件的制作方法及氣密性射頻MEMS器件與流程
    本發明涉及氣密性射頻mems器件,尤其是涉及一種氣密性射頻mems器件的制作方法及氣密性射頻mems器件。射頻微機電系統(射頻mems)是memsim电竞app的重要應用領域之一,也是二十世紀九十年代以來mems領域的研究熱點。射頻微機電系統器件具有高隔離度、低損耗、高線性度、低功耗、寬頻帶...
  • 致動器及包含致動器的芯片的制作方法
    【相關申請案的交叉引用】本申請案主張2019年11月7日申請的美國臨時專利申請案第62/931,926號的優先權,其整體經由引用被并入本文。本發明關于一種直線致動器,特別關于一種微機電系統(microelectromechanicalsystem,mems)直線致動器。me...
  • 具有多自由度移動的微機電致動裝置的制作方法
    本發明系關于一種致動裝置,特別關于一種微機電致動裝置,可達到多自由度移動之功效。以微型攝影機,如手機上的攝影裝置而言,微機電致動器有潛力可以取代音圈馬達來達到例如影像穩定及自動對焦,然而仍有一些問題有待解決,如在表面黏著制程時以及操作時產生的熱應力所造成的電容偏移(offset)、增加電—...
  • 一種新型MEMS傳感器敏感結構的封裝結構及粘接方法與流程
    本發明涉及mems傳感器的組裝,具體地涉及一種新型mems傳感器敏感結構的封裝結構及粘接方法。mems傳感器具有可靠性高和壽命長、功耗低、數字化、響應快和成本低等特點,因此mems傳感器被廣泛應用于航天、航空、軍事、消費電子等領域。隨著mems傳感器的快速發展,高精度、響應快、動態...
  • 微機電結構及其機械性能的調控方法與流程
    本發明涉及微機電系統,特別是涉及一種微機電結構及其機械性能的調控方法。微機電系統(mems)是在微電子im电竞app基礎上發展起來的,融合了微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統。mems是一項革命性的新im电竞app,...
  • 用于建立晶片連接的方法與流程
    本發明涉及一種在第一晶片和第二晶片之間建立晶片連接的方法。本發明還涉及一種mems傳感器。雖然本發明一般能應用在任意mems傳感器上,但本發明針對mems壓力傳感器來說明。已知的封裝im电竞app需要使壓力傳感器的壓力敏感部分、即壓力傳感器膜片借助專門的彈簧結構與傳感器的其余部分機械脫耦并由此使其不...
  • 形成包括褶皺的MEMS振膜的方法與流程
    相關申請的交叉引用本申請要求于2018年10月5日提交的標題為“methodsofformingmemsdiaphragmsincludingcorrugations(形成包括褶皺的mems振膜的方法)”的美國臨時申請no.62/742,164的優先權,該美國臨時申請的全部內容以引用方式并入本文中...
  • 用于制造MEMS傳感器的方法與流程
    本發明涉及一種用于制造mems傳感器的方法。此外,本發明還涉及一種mems傳感器。雖然本發明一般能夠用于任意的mems傳感器,但是本發明是參照mems壓力傳感器來說明的。已知的壓力傳感器具有壓敏層、例如膜片,該壓敏層必須與環境接觸,以便確保通向到這個壓敏層的壓力入口。這個壓力入口以已知的方...
  • 一種帶有硅通孔的硅MEMS微結構的加工工藝的制作方法
    本發明屬于微機電系統(mems)制造,特別涉及一種帶有硅通孔的硅mems微結構的加工工藝。mems器件是近二十年來發展起來的一種新型器件,以其成本低、體積小、功耗低、可大規模生產等特點在國防、慣性導航、地震探測、工業、醫療、自動化以及消費電子等眾多領域中獲得了廣泛的應用。mems器...
  • 一種掩膜刻蝕制備亞波長周期性陣列的方法與流程
    本發明屬于微納米材料光學領域,具體涉及一種玻璃表面修飾掩膜進行刻蝕亞波長周期性陣列的方法。顯示產品在當代信息化社會已是不可或缺的重要一環,作為信息的輸出顯示工具,顯示器件參與著人眼和機器交互的重要環節。顯示器件的表面反光是一直光學玻璃普遍存在的問題,表面反光是由于空氣折射率與玻璃折射率之間...
  • 一種大尺寸光學陀螺楔形腔及其制備方法和應用與流程
    本發明屬于光學陀螺的si基光電子器件制備,更具體地,涉及一種大尺寸光學陀螺楔形腔及其制備方法和應用。陀螺儀作為測量載體角加速度和姿態的重要傳感器件,是慣性導航系統的重要核心部件,被廣泛的應用于航天航海、制導控制、隧道施工和汽車制造等各種領域,其發展對工業領域重大科技計劃的研究具有重...
  • MEMS異形芯片的切割方法與流程
    本發明屬于mems微細加工,尤其涉及一種mems(micro-electro-mechanicalsystem,微機電系統)異形芯片的切割方法。mems芯片的分離通常采用劃片工藝實現。目前在mems晶圓劃片領域,主要有砂輪劃片和激光劃片。其中,砂輪切割劃片是目前應用最為廣泛的切割技...
  • MEMS傳感器的制作方法
    本發明涉及半導體器件,尤其涉及一種mems傳感器。氣密性封裝是mems領域常見的封裝需求形式。mems器件如加速度傳感器、壓力傳感器、角速度傳感器等內部有可動部件,需要為可動部件提供氣密性空腔,以保證可動部件在空腔內部有較小的阻尼和靜摩擦力。mems器件如非制冷紅外焦平面探測器內部...
  • MEMS傳感器及其制作方法與流程
    本發明涉及半導體器件,尤其涉及一種mems傳感器及其制作方法。氣密性封裝是mems領域常見的封裝需求形式。mems器件如加速度傳感器、壓力傳感器、角速度傳感器等內部有可動部件,需要為可動部件提供氣密性空腔,以保證可動部件在空腔內部有較小的阻尼和靜摩擦力。mems器件如非制冷紅外焦平...
  • 超聲換能器腔室中的吸氣材料的制備im电竞app以及結構的制作方法
    相關申請的交叉引用本申請根據35u.s.c.§119(e)要求于2018年9月28日提交的代理人案卷號為b1348.70103us00并且題為“fabricationtechniquesandstructuresforgetteringmaterialsinultrasonictransducer...
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